Araştırmalar için Plazma sistemi

Fiji serisi sistemlerimiz, daha ileri seviyede ve daha yüksek deneysel esneklik sağlayan ideal ince film sistemidir

Fiji modülerdir ve çok geniş bir aralıktaki ALD uygulamaları için özgünleştirilebilir. Örneğin, Fiji sistemi plazma-aşındırmalı ALD için plazma üreteciyle birlikte gelir. Ek olarak, tek ya da çift numune odası tasarımı ile, Fiji temiz odaya uygun hale getirilebilir ve opsiyonel loadlock ile birlikte gelir

http://www.cambridgenanotechald.com/advanced-thin-films.shtml