Seri üretim sistemi

Phoenix sistemi, ALD üretimi gerekiğinde doğru çözümdür. Phoenix sistemi aynı zamanda farklı alttaşları tutma kapasitesine sahip yüksek miktarlı üretime uygun bir ALD sistemidir

Eşsiz numune odası tasarımı gruplar/parçalar arasında hatasız konformal kaplamayı ve bakım için gerekli süreyi bir saat ya da daha kısa süreye indirmeyi sağlar

http://www.cambridgenanotechald.com/batch-atomic-layer-deposition-system.shtml