Automated Sample Prep (ASaP) System
- Bir bölmede 5 fonksiyon.
- Plasma Cleaning (PC)
- Ion Beam Etching (IBE)
- Reactive Ion Beam Etching (RIBE)
- Reactive Ion Etching (RIE)
- Ion Beam Sputter Coating (IBSC)
- Plasma Cleaning (PC)
- Hızlı, tutarlı sonuçar.
- Kolay kullanımlı, tamamen programlanabilirdir.
- Yağsız vakum sistemi.
Sürekli vakum altında örnek hazırlama
Model 1030 Automated Sample Preparation (ASaP) sistemi SEM (Taramalı elektron mikroskopisi) ve TEM (geçirmeli elektron mikroskopisi) örneklerindeki analitik data ve görüntü kalitesini arttıran güçlü, hızlı ve esnek bir cihazdır.
Plazma temizleyici, örnek üzerindeki organik kontaminasyonu temizlemede kullanılır. Ion beam etching (IBE) çizik, çatlak gibi yüzey kusurlarını gidererek yüzeyi düzleştirmede kullanılır. Reactive ion etching (RIE) örnek bileşenlerinden istenilenin aşındırılması için kullanılan kimyasal bir uygulamadır. SEM de yüklenmenin neden olduğu zararlı etkilerden korunmak için Model 1030 ASaP ion beam sputter coating (IBSC) kullanarak yüksek çözünürlüklü kaplama yapar. Yağsız vakum sistemi en iyi sonucu almayı sağlar.
Esnek operasyon
Operatör, örnek ihtiyacına göre istediği uygulamaları istediği sıraya göre seçebilir. Operasyon tamamiyle programlanabilir ve otomatiktir, numune hazırlanmasının bitirilmesi yüksek verimli uygulamalar için yeterlidir. Komple işlem serileri ve planları kaydedilebilir ve tekrar kullanılabilir.
En iyi bilgiyi sağlar
Fizik bilimlerindeki advanced field emission scanning electron microscopy (FESEM) örnekleri; yarıiletken cihazları, nanoteknoloji yapıları, metal matrix kompozitleri, termal bariyer kaplamaları ve mikroelektromekanik sistem (MEMS) bileşenlerini içerir. Çoğu durumda, yapılar veya parçacık boyutları nanometre veya nanometre altı skaladadır.. FESEM 2 kV ve aşağısındaki hızlandırma potansiyellerinde bir nanometre çözünürlük verebildiği için, örneğin yüzey karakteristiklerinin önemi artmıştır. Siance FESEM yields resolution to one nanometer at accelerating voltages of 2kV or less, a high level of importance is placed on the sample’s surface characteristics. Model 1030 örnekten en yüksek oranda bilgiyi almak için oldukça etkilidir.